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净化车间工程的温度湿度怎么控制

浏览:588 发表时间:2019-12-09 17:24:19

   如何操纵洁净净化车间工程的温度湿度,你知道吗?一起来看一下吧:

  净化车间工程的关键作用是出示一个身心健康的衣食住行和生产过程,造就一个考虑照明灯具、溫度、环境湿度、噪声、气体总流量、工作压力、静态数据和食品卫生标准如微震动自然环境,使有关的服务项目和商品,以考虑大家的身心健康要求的自然环境,提供一个优良的室内空间,自然环境操纵,进而合理地提升商品的达标率,改进和提升服务水平的有关总体目标。

  净化车间工程的温度湿度关键依据加工工艺规定明确,但在考虑加工工艺规定的标准下,要考虑到人的舒适度。随着气体洁净度规定的提升,对溫度和环境湿度的规定愈来愈严苛。

  随着生产加工精密度的提升,对溫度起伏范畴的规定会愈来愈小。比如,在规模性集成电路芯片造成的光刻曝出全过程中,夹层玻璃与硅单晶做为掩模原材料的线膨胀系数差规定愈来愈小。

  直经100um的硅单晶,溫度升高1度,就造成了0.24um线形澎涨,因此务必有±0.1度的控温,另外规定环境湿度值较低,由于人流汗之后,对商品将会有环境污染,非常是钠的半导体材料生产车间,这类生产车间不可超出25度。

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